1. Vật liệu và thiết bị
Vật liệu cốt lõi: Oxit ceriumBột có độ tinh khiết lớn hơn hoặc bằng 99%, kích thước hạt 1-5μm (kích thước hạt thô 3-5μm đối với đánh bóng thô, kích thước hạt mịn 1-2μm để đánh bóng mịn)
Vật liệu phụ trợ:Nước khử ion, bộ điều chỉnh pH (Axit NaOH/Citric)
Các công cụ và thiết bị: Máy đánh bóng (thủ công hoặc điện), Polyurethane/Polishing Pad, máy khuấy, giấy thử pH, cốc đo
2. Quy trình hoạt động tiêu chuẩn
1. Tiền xử lý
Làm sạch thủy tinh: Nem mịn bằng ethanol/acetone, làm sạch siêu âm để loại bỏ micron - Các hạt có kích thước
Chuẩn bị chất lỏng đánh bóng: Khuấy thành huyền phù đồng đều theo tỷ lệ của cerium oxit: nước=1: 5-10, điều chỉnh pH thành 9-11 (môi trường kiềm tăng tốc phản ứng hóa học)
2. Hoạt động đánh bóng
Gỡ lỗi thiết bị: Khắc phục miếng đánh bóng ướt, đặt tốc độ, 100-300 vòng / phút cho kính thông thường, 50-100 vòng / phút cho kính quang học
Tải và đánh bóng vật liệu: Sơn xịt, áp dụng áp suất 0,1-0,5MPa, sử dụng quỹ đạo 8 hình và bổ sung vật liệu cứ sau 2-5 phút
Giám sát quy trình: Quan sát độ nhám bằng kính hiển vi (mục tiêu RA<1μm), and detect the surface error with interferometer (PV<λ>
3. Bài - Xử lý
Làm sạch: Rửa sạch nước khử ion → lau bằng rượu isopropyl → khô với không khí nóng dưới 60 độ
Kiểm tra chất lượng: Kiểm tra độ truyền sáng (kính bình thường lớn hơn hoặc bằng 90%), kiểm tra ánh sáng UV đối với các khuyết tật bề mặt
3. Các vấn đề phổ biến
Sản phẩm mờ bề mặt: bùn quá tập trung / đánh bóng là quá quá mức, pha loãng bùn và rút ngắn thời gian đánh bóng tốt
Chất cào sâu: Các tạp chất trong pad đánh bóng / áp suất không đồng đều, thay thế miếng đánh bóng và hiệu chỉnh hệ thống áp suất
Hiệu quả thấp: Độ lệch / nhiệt độ pH quá thấp, điều chỉnh pH đến 10 và làm nóng độ bùn đến 25 độ